Barcikowski, Stephan; Hahn, A.; Walter, J.:
Health risks of nanoparticulate emissions during femtosecond and picosecond pulsed laser machining
In: Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing VII : 26 - 29 January 2009, San Jose, California, United States / Meunier, Michel; Holmes, Andrew S.; Niino, Hiroyuki; Gu, Bo (Hrsg.). - Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing VII ; [part of] Photonics West ; 26 - 29 January 2009, San Jose, California, United States - Bellingham: SPIE, 2009 - (Proceedings of SPIE ; 7201), S. 720109
2009Buchaufsatz/Kapitel in Tagungsband
ChemieFakultät für Chemie » Technische Chemie
Titel in Englisch:
Health risks of nanoparticulate emissions during femtosecond and picosecond pulsed laser machining
Autor*in:
Barcikowski, StephanUDE
GND
129006084
LSF ID
52773
ORCID
0000-0002-9739-7272ORCID iD
Sonstiges
der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
;Hahn, A.;Walter, J.
DOI
10.1117/12.810222
Sprache des Textes:
Englisch
Erschienen in
Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing VII : 26 - 29 January 2009, San Jose, California, United States
Konferenz
Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing VII ; [part of] Photonics West ; 26 - 29 January 2009, San Jose, California, United States
Herausgeber*in:
Meunier, Michel;Holmes, Andrew S.;Niino, Hiroyuki;Gu, Bo
Erscheinungsort:
Bellingham
Verlag:
SPIE
Erscheinungsjahr:
2009
in:
S. 720109
ISBN
978-0-8194-7447-6
In Serie
Proceedings of SPIE
in:
Band 7201