Wang, Qiang:

Entwicklung eines MEMS-Drucksensor-Prozessmoduls für die Post-CMOS-Integration

Duisburg, Essen (2012)
Dissertation / Fach: Elektrotechnik
Fakultät für Ingenieurwissenschaften » Elektrotechnik und Informationstechnik
Duisburg, Essen, Univ., Diss., 2012

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