Wang, Qiang:
Entwicklung eines MEMS-Drucksensor-Prozessmoduls für die Post-CMOS-Integration
Duisburg, Essen, 2012
Dissertation / Fach: Elektrotechnik
Fakultät für Ingenieurwissenschaften » Elektrotechnik und Informationstechnik
Titel:
Entwicklung eines MEMS-Drucksensor-Prozessmoduls für die Post-CMOS-Integration
Autor(in):
Wang, Qiang
Erscheinungsort:
Duisburg, Essen
Erscheinungsjahr:
2012
DuEPublico ID:
URN:
Signatur der UB:
Notiz:
Duisburg, Essen, Univ., Diss., 2012