Tunable diode laser absorption based sensors for the detection of water vapor concentration, film thickness and temperature

Duisburg, Essen (2012), VIII, 105 Bl.
Dissertation / Fach: Maschinenbau
Fakultät für Ingenieurwissenschaften » Maschinenbau und Verfahrenstechnik
Duisburg, Essen, Univ.,Diss., 2012

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