Deposition of diamond-like carbon films by liquid electrochemical technique

Duisburg, Essen (2011), IV, 140 S.
Dissertation / Fach: Physik
Fakultät für Physik
Duisburg, Essen, Univ., Diss., 2011
Abstract:
Diamantähnliche Kohlenstoffschichten (DLC) sind amorphe Kohlenstoffschichten, die abhängig von der Abscheidetechnik und den Abscheidebedingungen, sowohl mit als auch ohne Wasserstoff hergestellt werden können. Neben der konventionellen Gasphasenabscheidung können DLC Schichten auch mittels elektrochemischer Abscheidung aus der flüssigen Phase hergestellt werden. Unter der angelegten Spannung reagieren die organischen Moleküle und werden zu DLC-Schichten auf dem Substrat. Die elektrochemische Abscheidung von DLC Schichten gewinnt aufgrund der Einfachheit des experimentellen Aufbaus, der Skalierbarkeit des Prozesses, der niedrigen Prozesstemperatur und der Möglichkeit auch geometrisch komplexe Strukturen zu beschichten zunehmend an Interesse. Obwohl bereits einige Arbeiten zu diesem Thema veröffentlicht wurden, fehlen noch entscheidende Aspekte. Das Ziel dieser Dissertation ist es daher, den Einfluss des experimentellen Aufbaus und der Abscheidebedingungen zu untersuchen und das technologische Potential des Verfahrens einzuschätzen.