Jnawali, Giriraj; Meyer zu Heringdorf, Frank; Wall, Dirk; Sindermann, Simon; Horn-von Hoegen, Michael:
Stable tungsten disilicide contacts for surface and thin film resistivity measurements
In: Journal of Vacuum Science and Technology (JVST) B : Nanotechnology and Microelectronics, Jg. 27 (2009), Heft 1, S. 180
2009Artikel/Aufsatz in Zeitschrift
Physik (inkl. Astronomie)Fakultät für Physik » ExperimentalphysikForschungszentren » Center for Nanointegration Duisburg-Essen (CENIDE)
Damit verbunden: 1 Publikation(en)
Titel in Englisch:
Stable tungsten disilicide contacts for surface and thin film resistivity measurements
Autor*in:
Jnawali, GirirajUDE
LSF ID
10417
ORCID
0000-0003-0954-8614ORCID iD
Sonstiges
der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
;
Meyer zu Heringdorf, FrankUDE
LSF ID
48700
ORCID
0000-0002-5878-2012ORCID iD
Sonstiges
der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
;
Wall, DirkUDE
LSF ID
48960
Sonstiges
der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
;
Sindermann, SimonUDE
LSF ID
51046
Sonstiges
der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
;
Horn-von Hoegen, MichaelUDE
GND
1201039908
LSF ID
10366
ORCID
0000-0003-0324-3457ORCID iD
Sonstiges
der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
Erscheinungsjahr:
2009
Sprache des Textes:
Englisch