Stella, Kevin; Bürstel, Damian; Franzka, Steffen; Diesing, Detlef; Posth, Oliver:
Preparation and properties of thin amorphous tantalum films formed by small e-beam evaporators
2009
In: Journal of Physics, D, Applied Physics, Heft 42, S. 135417
Artikel/Aufsatz in Zeitschrift / Fach: Chemie
Titel:
Preparation and properties of thin amorphous tantalum films formed by small e-beam evaporators
Autor(in):
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Erscheinungsjahr:
2009
Erschienen in:
Journal of Physics, D, Applied Physics, Heft 42, S. 135417
ISSN:
Signatur der UB: