Abscheidung von amorphen wasserstoffhaltigen Kohlenstoffschichten mittels neuartiger hybrider RF-Plasma-Quelle und deren spektroskopische Chrarakterisierung
1. Aufl., München, 2011
2011Dissertation
Physik (inkl. Astronomie)Fakultät für Physik
Titel in Deutsch:
Abscheidung von amorphen wasserstoffhaltigen Kohlenstoffschichten mittels neuartiger hybrider RF-Plasma-Quelle und deren spektroskopische Chrarakterisierung
Autor*in:
Poukhovoi, Alexei
Akademische Betreuung:
Auflage:
1. Aufl.
Erscheinungsort:
München
Erscheinungsjahr:
2011
Umfang:
III, 157 S.
ISBN
Signatur der UB:
Notiz:
Zugl.: Duisburg, Essen, Univ., Diss., 2011
Sprache des Textes:
Deutsch