Silicon Particle Formation by pyrolysis of Silane in a Hot Wall Gasphase Reactor
In: Chemical Engineering and Technology : CET, Jg. 24 (2001), Heft 3, S. 261 - 264
Titel:
Silicon Particle Formation by pyrolysis of Silane in a Hot Wall Gasphase Reactor
Autor*in:
Wiggers, HartmutUDE
- GND
- 172637171
- LSF ID
- 1643
- ORCID
- 0000-0001-8487-9937
- Sonstiges
- der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
- LSF ID
- 1624
- Sonstiges
- der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
- LSF ID
- 1010
- Sonstiges
- der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
Erscheinungsjahr:
2001