Wiggers, Hartmut; Starke, Ralf; Roth, Paul:
Silicon Particle Formation by pyrolysis of Silane in a Hot Wall Gasphase Reactor
In: Chemical Engineering and Technology : CET, Jg. 24 (2001), Heft 3, S. 261 - 264
2001Artikel/Aufsatz in Zeitschrift
Maschinenbau
Damit verbunden: 1 Publikation(en)
Titel:
Silicon Particle Formation by pyrolysis of Silane in a Hot Wall Gasphase Reactor
Autor*in:
Wiggers, HartmutUDE
GND
172637171
LSF ID
1643
ORCID
0000-0001-8487-9937ORCID iD
Sonstiges
der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
;
Starke, RalfUDE
LSF ID
1624
Sonstiges
der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
;
Roth, PaulUDE
LSF ID
1010
Sonstiges
der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
Erscheinungsjahr:
2001