Silicon Particle Formation by pyrolysis of Silane in a Hot Wall Gasphase Reactor
In: Chemical Engineering & Technology, Jg. 24 (2001) ; Nr. 3, S. 261 - 264
ISSN: 0930-7516, 1521-4125
Zeitschriftenaufsatz / Fach: Maschinenbau. Maschinenwesen
Signatur der Zeitschrift: E30/91 Z 371
Dieser Eintrag ist freigegeben.