Wiggers, Hartmut; Starke, Ralf; Roth, Paul:
Silicon Particle Formation by pyrolysis of Silane in a Hot Wall Gasphase Reactor
2001
In: Chemical Engineering & Technology, Jg. 24 (2001), Heft 3, S. 261 - 264
Artikel/Aufsatz in Zeitschrift / Fach: Maschinenbau
Titel:
Silicon Particle Formation by pyrolysis of Silane in a Hot Wall Gasphase Reactor
Autor(in):
Wiggers, Hartmut im Online-Personal- und -Vorlesungsverzeichnis LSF anzeigen; Starke, Ralf im Online-Personal- und -Vorlesungsverzeichnis LSF anzeigen; Roth, Paul im Online-Personal- und -Vorlesungsverzeichnis LSF anzeigen
Erscheinungsjahr:
2001
Erschienen in:
Chemical Engineering & Technology, Jg. 24 (2001), Heft 3, S. 261 - 264
ISSN:
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Signatur der UB: