Schierning, Gabi; Theissmann, Ralf; Wiggers, Hartmut; Sudfeld, Daniela; Ebbers, André; Franke, D.; Witusiewicz, V. T.; Apel, M.:
Microcrystalline silicon formation by silicon nanoparticles
2008
In: Journal of Applied Physics, Band 103 (2008), 084305 (6pp)
Artikel/Aufsatz in Zeitschrift2008Maschinenbau
Titel:
Microcrystalline silicon formation by silicon nanoparticles
Autor(in):
Schierning, GabiLSF; Theissmann, RalfLSF; Wiggers, HartmutLSF; Sudfeld, Daniela; Ebbers, André; Franke, D.; Witusiewicz, V. T.; Apel, M.
Erscheinungsjahr
2008
Erschienen in:
Titel:
Journal of Applied Physics
in:
Band 103 (2008), 084305 (6pp)