Meijer, Jan; Pezzagna, Sébastien; Vogel, Thomas; Burchard, Bernard; Bukow, Hans-Heinrich; Rangelow, Ivo W.; Sarov, Yanko; Wiggers, Hartmut; Plümel, Ingo; Jelezko, Fedor; Wrachtrup, Jörg; Schmidt-Kaler, Ferdinand; Schnitzler, Wolfgang; Singer, Kilian:

Towards the the implanting of ions and nanoparticles with nm spatial resolution

In: Applied Physics A, Jg. 91 (2008) ; Nr. 4, S. 567 - 571
Zeitschriftenaufsatz / Fach: Maschinenbau. Maschinenwesen

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