Growth of SiC by high temparature CVD and application of thermo-gravimetry for an in-situ growth rate measurement

(2010), X, 145 S.
Dissertation / Fach: Maschinenbau
Fakultät für Ingenieurwissenschaften » Maschinenbau und Verfahrenstechnik » Institut für Verbrennung und Gasdynamik
Atakan, Burak (Doktorvater, Betreuerin)
Winterer, Markus (GutachterIn)
Duisburg, Essen, Univ., Diss., 2010