Hartmann, Claus; Weber, Rainer; Mertin, Wolfgang; Kubalek, Erich; Müller, Anne-Dorothea; Hietschold, Michael:
Simultaneous IC-internal voltage and current measurements via a multi lever Scanning Force Microscope
In: Microelectronics Reliability, Jg. Vol. 42 (2002), Heft 9-11, S. 1759 - 1762
2002Artikel/Aufsatz in Zeitschrift
ElektrotechnikPhysik (inkl. Astronomie)Materialtechnik
Damit verbunden: 1 Publikation(en)
Titel:
Simultaneous IC-internal voltage and current measurements via a multi lever Scanning Force Microscope
Autor*in:
Hartmann, Claus;Weber, Rainer;Mertin, WolfgangUDE
LSF ID
1452
ORCID
0000-0001-6792-6033ORCID iD
Sonstiges
der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
;
Kubalek, ErichUDE
LSF ID
1175
Sonstiges
der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
;
Müller, Anne-Dorothea;Hietschold, Michael
Erscheinungsjahr:
2002