Hartmann, Claus; Weber, Rainer; Mertin, Wolfgang; Kubalek, Erich; Müller, Anne-Dorothea; Hietschold, Michael:
Simultaneous IC-internal voltage and current measurements via a multi lever Scanning Force Microscope
2002
In: Microelectronics Reliability, Jg. Vol. 42 (2002), Heft 9-11, S. 1759 - 1762
Artikel/Aufsatz in Zeitschrift2002ElektrotechnikPhysikMaterialtechnik
Titel:
Simultaneous IC-internal voltage and current measurements via a multi lever Scanning Force Microscope
Autor(in):
Hartmann, Claus; Weber, Rainer; Mertin, WolfgangLSF; Kubalek, ErichLSF; Müller, Anne-Dorothea; Hietschold, Michael
Erscheinungsjahr
2002
Erschienen in:
Titel:
Microelectronics Reliability
in:
Jg. Vol. 42 (2002), Heft 9-11, S. 1759 - 1762
ISSN: