Behnke, Ulf; Mertin, Wolfgang; Kubalek, Erich:
Cross-talk in electric force microscopy testing of parallel sub-micrometer conducting lines
2000
In: Microelectronics Reliability, Jg. Vol. 40 (2000), Heft 8-10, S. 1401 - 1406
Artikel/Aufsatz in Zeitschrift / Fach: Elektrotechnik; Physik; Materialtechnik
Titel:
Cross-talk in electric force microscopy testing of parallel sub-micrometer conducting lines
Autor(in):
Behnke, Ulf im Online-Personal- und -Vorlesungsverzeichnis LSF anzeigen; Mertin, Wolfgang im Online-Personal- und -Vorlesungsverzeichnis LSF anzeigen; Kubalek, Erich im Online-Personal- und -Vorlesungsverzeichnis LSF anzeigen
Erscheinungsjahr:
2000
Erschienen in:
Microelectronics Reliability, Jg. Vol. 40 (2000), Heft 8-10, S. 1401 - 1406
ISSN: