Behnke, Ulf; Wand, B.; Mertin, Wolfgang; Kubalek, Erich:
Voltage contrast measurements on sub-micrometer structures with an electric force microscope based test system
1999
In: Microelectronics Reliability, Jg. Vol. 39 (1999), Heft 6-7, S. 969 - 974
Artikel/Aufsatz in Zeitschrift / Fach: Elektrotechnik; Physik; Materialtechnik
Titel:
Voltage contrast measurements on sub-micrometer structures with an electric force microscope based test system
Autor(in):
Behnke, Ulf im Online-Personal- und -Vorlesungsverzeichnis LSF anzeigen; Wand, B.; Mertin, Wolfgang im Online-Personal- und -Vorlesungsverzeichnis LSF anzeigen; Kubalek, Erich im Online-Personal- und -Vorlesungsverzeichnis LSF anzeigen
Erscheinungsjahr:
1999
Erschienen in:
Microelectronics Reliability, Jg. Vol. 39 (1999), Heft 6-7, S. 969 - 974
ISSN: