Behnke, Ulf; Wand, B.; Mertin, Wolfgang; Kubalek, Erich:
Voltage contrast measurements on sub-micrometer structures with an electric force microscope based test system
1999
In: Microelectronics Reliability, Jg. Vol. 39 (1999), Heft 6-7, S. 969 - 974
Artikel/Aufsatz in Zeitschrift1999ElektrotechnikPhysikMaterialtechnik
Titel:
Voltage contrast measurements on sub-micrometer structures with an electric force microscope based test system
Autor(in):
Behnke, UlfLSF; Wand, B.; Mertin, WolfgangLSF; Kubalek, ErichLSF
Erscheinungsjahr
1999
Erschienen in:
Titel:
Microelectronics Reliability
in:
Jg. Vol. 39 (1999), Heft 6-7, S. 969 - 974
ISSN: