Quantitative high frequency-electric force microscope testing of monolithic microwave integrated circuits at 20 GHz

In: Microelectronics Relability, Jg. Vol. 39 (1999) ; Nr. 6-7, S. 951-956
ISSN: 0026-2714
Zeitschriftenaufsatz / Fach: Elektrotechnik; Physik; Materialtechnik

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