Quantitative high frequency-electric force microscope testing of monolithic microwave integrated circuits at 20 GHz
In: Microelectronics Relability, Jg. Vol. 39 (1999), Heft 6-7, S. 951 - 956
1999Artikel/Aufsatz in Zeitschrift
ElektrotechnikPhysik (inkl. Astronomie)Materialtechnik
Titel:
Quantitative high frequency-electric force microscope testing of monolithic microwave integrated circuits at 20 GHz
Autor*in:
Wittpahl, VolkerUDE
- LSF ID
- 1454
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- 0000-0001-6792-6033
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- 1175
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Erscheinungsjahr:
1999