Wittpahl, Volker; Ney, Christian; Behnke, Ulf; Mertin, Wolfgang; Kubalek, Erich:
Quantitative high frequency-electric force microscope testing of monolithic microwave integrated circuits at 20 GHz
In: Microelectronics Relability, Jg. Vol. 39 (1999), Heft 6-7, S. 951 - 956
1999Artikel/Aufsatz in Zeitschrift
ElektrotechnikPhysik (inkl. Astronomie)Materialtechnik
Titel:
Quantitative high frequency-electric force microscope testing of monolithic microwave integrated circuits at 20 GHz
Autor*in:
Wittpahl, VolkerUDE
LSF ID
1454
Sonstiges
der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
;
Ney, Christian;Behnke, UlfUDE
LSF ID
1456
Sonstiges
der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
;
Mertin, WolfgangUDE
LSF ID
1452
ORCID
0000-0001-6792-6033ORCID iD
Sonstiges
der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
;
Kubalek, ErichUDE
LSF ID
1175
Sonstiges
der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
Erscheinungsjahr:
1999