A new bifunctional topography and current probe for scanning force microscopy testing of integrated circuits
In: Microelectronics Reliability, Jg. Vol. 39 (1999), Heft 6-7, S. 975 - 980
1999Artikel/Aufsatz in Zeitschrift
ElektrotechnikPhysik (inkl. Astronomie)Materialtechnik
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Titel:
A new bifunctional topography and current probe for scanning force microscopy testing of integrated circuits
Autor*in:
Bae, Seong-WooUDE
- LSF ID
- 1445
- Sonstiges
- der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
- LSF ID
- 1452
- ORCID
-
0000-0001-6792-6033
- Sonstiges
- der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
- LSF ID
- 1175
- Sonstiges
- der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
Erscheinungsjahr:
1999
Erschienen in
Titel in Englisch (abgekürzt):
Microelectron Reliab
Erscheinungsort:
Amsterdam
Verlag:
Elsevier
in:
Jg. Vol. 39 (1999), Heft 6-7, S. 975 - 980
ISSN
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ZDB ID
Ressourcentyp:
Text