Bae, Seong-Woo; Schiemann, Klaus; Mertin, Wolfgang; Kubalek, Erich; Maywald, Martin:
A new bifunctional topography and current probe for scanning force microscopy testing of integrated circuits
1999
In: Microelectronics Reliability, Jg. Vol. 39 (1999), Heft 6-7, S. 975 - 980
Artikel/Aufsatz in Zeitschrift1999ElektrotechnikPhysikMaterialtechnik
Titel:
A new bifunctional topography and current probe for scanning force microscopy testing of integrated circuits
Autor(in):
Bae, Seong-WooLSF; Schiemann, Klaus; Mertin, WolfgangLSF; Kubalek, ErichLSF; Maywald, Martin
Erscheinungsjahr
1999
Erschienen in:
Titel:
Microelectronics Reliability
in:
Jg. Vol. 39 (1999), Heft 6-7, S. 975 - 980
ISSN: