Bae, Seong-Woo; Schiemann, Klaus; Mertin, Wolfgang; Kubalek, Erich; Maywald, Martin:

A new bifunctional topography and current probe for scanning force microscopy testing of integrated circuits

In: Microelectronics Reliability, Jg. Vol. 39 (1999) ; Nr. 6-7, S. 975-980
ISSN: 0026-2714
Zeitschriftenaufsatz / Fach: Elektrotechnik; Physik; Materialtechnik

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