Franzka, Steffen; Koch, Jürgen; Chichkov, Boris N.; Hartmann, Nils:
Nonlinear femtosecond laser processing of alkylsiloxane monolayers on surface-oxidized silicon substrates
2010
In: Journal of vacuum science and technology / A, Jg. 28 (2010), Heft 4, S. 814 - 817
Artikel/Aufsatz in Zeitschrift2010Chemie
Zentrale wissenschaftliche Einrichtungen » Center for Nanointegration Duisburg-Essen (CENIDE)
Titel:
Nonlinear femtosecond laser processing of alkylsiloxane monolayers on surface-oxidized silicon substrates
Autor(in):
Franzka, SteffenLSF; Koch, Jürgen; Chichkov, Boris N.; Hartmann, NilsLSF
Erscheinungsjahr
2010
DOI:
Erschienen in:
Titel:
Journal of vacuum science and technology / A
in:
Jg. 28 (2010), Heft 4, S. 814 - 817
ISSN:
Signatur der UB