Franzka, Steffen; Koch, Jürgen; Chichkov, B. N.; Hartmann, Nils:

Nonlinear femtosecond laser processing of alkylsiloxane monolayers on surface-oxidized silicon substrates

In: Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films, Jg. 28 (2010) ; Nr. 4, S. 814 - 817
Zeitschriftenaufsatz / Fach: Chemie

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