Klingebiel, Benjamin; Schröter, Anja; Franzka, Steffen; Hartmann, Nils:
Photothermally induced bromination and decomposition of alkylsiloxane monolayers on surface-oxidized silicon substrates
2010
In: Journal of vacuum science and technology / A, Jg. 28 (2010), Heft 4, S. 834 - 837
Artikel/Aufsatz in Zeitschrift2010Chemie
Zentrale wissenschaftliche Einrichtungen » Center for Nanointegration Duisburg-Essen (CENIDE)
Titel:
Photothermally induced bromination and decomposition of alkylsiloxane monolayers on surface-oxidized silicon substrates
Autor(in):
Klingebiel, BenjaminLSF; Schröter, AnjaLSF; Franzka, SteffenLSF; Hartmann, NilsLSF
Erscheinungsjahr
2010
DOI:
Erschienen in:
Titel:
Journal of vacuum science and technology / A
in:
Jg. 28 (2010), Heft 4, S. 834 - 837
ISSN:
Signatur der UB