Electron-Beam Lithography with Metal Colloids: Direct Writing of Metallic Nanostructures.
In: The Journal of Vacuum Science and Technology B, Jg. 16 (1998), S. 77
ISSN: 1071-1023
Zeitschriftenaufsatz / Fach: Physik
Signatur der Zeitschrift: D30/67 Z 23
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