Lohau, J.; Friedrichowski, S.; Dumpich, Günter:

Electron-Beam Lithography using a STEM CM12 (Philips)

In: The Journal of Vacuum Science and Technology B, Jg. 16 (1998), S. 1150
ISSN: 1071-1023
Zeitschriftenaufsatz / Fach: Physik

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