Prost, W.; Kruis, Frank Einar; Otten, F.; Nielsch, K.; Rellinghaus, B.; Auer, U.; Peled, A.; Wassermann, Eberhard; Fissan, Heinz; Tegude, Franz-Josef:
Monodisperse aerosol particle deposition: Prospects for nanoelectronics.
1998
In: Microelectronic Engineering, Band 41/42 (1998), S. 535 - 538
Artikel/Aufsatz in Zeitschrift1998Physik
Titel:
Monodisperse aerosol particle deposition: Prospects for nanoelectronics.
Autor(in):
Prost, W.; Kruis, Frank EinarLSF; Otten, F.; Nielsch, K.; Rellinghaus, B.; Auer, U.; Peled, A.; Wassermann, EberhardLSF; Fissan, HeinzLSF; Tegude, Franz-JosefLSF
Erscheinungsjahr
1998