Prost, W.; Kruis, Frank Einar; Otten, F.; Nielsch, K.; Rellinghaus, B.; Auer, U.; Peled, A.; Wassermann, Eberhard; Fissan, Heinz; Tegude, Franz-Josef:
Monodisperse aerosol particle deposition: Prospects for nanoelectronics.
1998
In: Microelectronic Engineering, Band 41/42 (1998), S. 535 - 538
Artikel/Aufsatz in Zeitschrift / Fach: Physik
Titel:
Monodisperse aerosol particle deposition: Prospects for nanoelectronics.
Autor(in):
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Erscheinungsjahr
1998
Erschienen in:
Microelectronic Engineering, Band 41/42 (1998), S. 535 - 538
ISSN
Signatur der UB