Prost, W.; Kruis, Frank Einar; Otten, F.; Nielsch, K.; Rellinghaus, B.; Auer, U.; Peled, A.; Wassermann, Eberhard; Fissan, Heinz; Tegude, Franz-Josef:

Monodisperse aerosol particle deposition: Prospects for nanoelectronics.

In: Microelectronic Engineering, Jg. 41/42 (1998), S. 535-538
ISSN: 0167-9317
Zeitschriftenaufsatz / Fach: Physik
Signatur der Zeitschrift: D40/88 Z 130

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