Hartmann, Nils; Klingebiel, Benjamin; Balgar, Thorsten; Franzka, Steffen; Hasselbrink, Eckart:
Laser-Induced Local Dehydroxolation on Surface-Oxidized Silicon Substrates: Mechanistic Aspects and Prospects in Nanofabrication
2009
In: Applied Physics A, Band 94 (2009), S. 95 - 103
Artikel/Aufsatz in Zeitschrift / Fach: Chemie
Fakultät für Chemie » Physikalische Chemie
Titel:
Laser-Induced Local Dehydroxolation on Surface-Oxidized Silicon Substrates: Mechanistic Aspects and Prospects in Nanofabrication
Autor(in):
Hartmann, Nils im Online-Personal- und -Vorlesungsverzeichnis LSF anzeigen; Klingebiel, Benjamin im Online-Personal- und -Vorlesungsverzeichnis LSF anzeigen; Balgar, Thorsten im Online-Personal- und -Vorlesungsverzeichnis LSF anzeigen; Franzka, Steffen im Online-Personal- und -Vorlesungsverzeichnis LSF anzeigen; Hasselbrink, Eckart im Online-Personal- und -Vorlesungsverzeichnis LSF anzeigen
Erscheinungsjahr
2009
Erschienen in:
Applied Physics A, Band 94 (2009), S. 95 - 103
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