Zumbach, V.; Schäfer, J.; Tobai, J.; Ridder, M.; Dreier, Thomas; Schaich, T.; Wolfrum, J.; Ruf, B.; Behrendt, F.; Deutschmann, O.; Warnatz, J.:
Experimental investigation and computational modeling of hot filament diamond chemical vapor deposition
1997
In: J. Chem. Phys., Band 107 (1997), S. 5918
Artikel/Aufsatz in Zeitschrift1997Maschinenbau
Titel:
Experimental investigation and computational modeling of hot filament diamond chemical vapor deposition
Autor(in):
Zumbach, V.; Schäfer, J.; Tobai, J.; Ridder, M.; Dreier, ThomasLSF; Schaich, T.; Wolfrum, J.; Ruf, B.; Behrendt, F.; Deutschmann, O.; Warnatz, J.
Erscheinungsjahr
1997
Erschienen in:
Titel:
J. Chem. Phys.
in:
Band 107 (1997), S. 5918