Zumbach, V.; Schäfer, J.; Tobai, J.; Ridder, M.; Dreier, Thomas; Schaich, T.; Wolfrum, J.; Ruf, B.; Behrendt, F.; Deutschmann, O.; Warnatz, J.:

Experimental investigation and computational modeling of hot filament diamond chemical vapor deposition

In: J. Chem. Phys., Jg. 107 (1997), S. 5918
Zeitschriftenaufsatz / Fach: Maschinenbau

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