Finder, C.; Beck, M.; Seekamp, J.; Pfeiffer, K.; Carlberg, P.; Maximov, I.; Reuther, F.; Sarve, E.l.; Zankovich, S.; Ahopelto, J.; Montelius, L.; Mayer, C.; Sotomayor Torres, C.m.:

Fluorescence microscopy for quality control in nanoimprint lithography

In: Microelectronic Engineering, Jg. 67/68 (2003), S. 623 – 628
Zeitschriftenaufsatz / Fach: Chemie

Dieser Eintrag ist freigegeben.