Finder, C.; Mayer, Christian; Schulz, Hubert; Scheer, Hella-Christin; Fink, Marion; Pfeiffer, Karl:
Non-contact fluorescence measurements for inspection and imprint depth control in nanoimprint lithography
In: Proceedings / 18th European Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Microcomponents / Behringer, Uwe F. W. (Hrsg.). - 18th European Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Microcomponents : 15 - 16 November 2002, Munich, Germany - Bellingham, Wash.: SPIE, 2002 - (Proceedings / SPIE, International Society for Optical Engineering ; 4764), S. 195
2002Buchaufsatz/Kapitel in Tagungsband
Chemie
Titel in Englisch:
Non-contact fluorescence measurements for inspection and imprint depth control in nanoimprint lithography
Autor*in:
Finder, C.;Mayer, ChristianUDE
GND
100307078
LSF ID
501
ORCID
0000-0003-1681-0553ORCID iD
Sonstiges
der Hochschule zugeordnete*r Autor*in
;Schulz, Hubert;Scheer, Hella-Christin;Fink, Marion;Pfeiffer, Karl
DOI
10.1117/12.479357
Sprache des Textes:
Englisch
Erschienen in
Proceedings / 18th European Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Microcomponents
Konferenz
18th European Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Microcomponents : 15 - 16 November 2002, Munich, Germany
Herausgeber*in:
Behringer, Uwe F. W.
Erscheinungsort:
Bellingham, Wash.
Verlag:
SPIE
Erscheinungsjahr:
2002
in:
S. 195
ISBN
0-8194-4531-2
In Serie
Proceedings / SPIE, International Society for Optical Engineering
in:
Band 4764