Finder, C.; Mayer, C.; Schulz, H.; Scheer, H.c.; Fink, M.; Pfeiffer, K.:

Non-contact fluorescence measurements for inspection and imprint depth control in nanoimprint lithography

In: GMM Fachbericht
Berlin: VDE-Verlag (2002), S. 195
Buchaufsatz / Kapitel / Fach: Chemie

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