Direkte Bestimmung von Eisenspuren in Dichlorsilan mit Hilfe der Graphitrohrofen-Atomabsorptionsspektrometrie (GF-AAS)

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In the present thesis the development of an analytical method for the determination of trace amounts of iron in dichlorosilane by graphite furnace atomic absorption spectrometry with a modified autoprobe unit is described. An conceived gas inlet system enabled a nearly contamination free and constant gas injection. The analytical method is optimized and the iron concentration in dichlorosilane is quantitatively determined.
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Dokumententyp:
Wissenschaftliche Abschlussarbeiten » Dissertation
Fakultät / Institut:
Fakultät für Chemie
Dewey Dezimal-Klassifikation:
500 Naturwissenschaften und Mathematik » 540 Chemie
Stichwörter:
metal contamination, graphite furnace atomic absorption spectrometry, dichlorosilane, GF-AAS, semiconductor, trace amounts of iron, reactive gases
Beitragende:
Prof. Dr. Golloch, Alfred [Betreuer(in), Doktorvater]
Dr. Denkhaus, Evelin [Gutachter(in), Rezensent(in)]
Sprache:
Deutsch
Kollektion / Status:
Dissertationen / Dokument veröffentlicht
Datum der Promotion:
03.03.2004
Dokument erstellt am:
03.03.2004
Dateien geändert am:
13.10.2006
Medientyp:
Text