Integrierte Ansteuerschaltungen für mikromechanische Flächenlichtmodulatoren

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In this thesis a circuit technology is described, which enables an integrated controling of an active matrix of micromechanic spatial light modulators (SLM). Possible applications areas for micromechanic spatial light modulators are projection of still or moving images, maskless lithography and adaptive optics. Especially in the areas of lithography and adaptive optics typical requirements of light modulators are high optical resolutions, high accuracy of modulation and fast addressing in order to enable a fast image repetition rate. The developed circuits are optimised for use as a maskless litography system and provide a minimum pixel pitch of 16 mm. Demonstrators with image areas of 256 x 256 pixels and a modulation resolution of 16 steps on each pixel enabled a minimum geometric lithographic resolution of less than 20 nm, using today available optics.
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Dokumententyp:
Wissenschaftliche Abschlussarbeiten » Dissertation
Fakultät / Institut:
Fakultät für Ingenieurwissenschaften » Elektrotechnik und Informationstechnik
Dewey Dezimal-Klassifikation:
600 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften » 620 Ingenieurwissenschaften
Stichwörter:
active matrix, adaptive optics, MEMS, micromirror, high voltage CMOS, direct writing, SLM
Beitragende:
Prof. Dr. Fiedler, Horst-Lothar [Betreuer(in), Doktorvater]
Prof. Ph. D. Hosticka, Bedrich J. [Gutachter(in), Rezensent(in)]
Sprache:
Deutsch
Kollektion / Status:
Dissertationen / Dokument veröffentlicht
Datum der Promotion:
13.12.2001
Dokument erstellt am:
13.12.2001
Dateien geändert am:
16.04.2007
Medientyp:
Text