Konzeption und Realisierung eines in-situ und on-Meßverfahrens zur Partikeldetektion auf transparenten Oberflächen

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disserta.zip07.10.1997 00:00:006,25 MB
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Im Rahmen dieser Arbeit ist ein neues Meßverfahren zur Online und in-situ-Partikeldetektion auf Oberflächen konzipiert, realisiert und verifiziert worden, das die Detektion der Verunreinigungen durch eine transparente Oberfläche hindurch mit Hilfe der Streulichtmeßtechnik erlaubt. Dieser innovative Schritt erlaubt es, alle Meßsystemkomponenten unterhalb der transparenten Oberfläche anzuordnen. Erstmals wird eine in-situ-Fähigkeit des Meßverfahrens im Gegensatz zu existierenden Oberflächenmeßtechniken erzielt.
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Dokumententyp:
Wissenschaftliche Abschlussarbeiten » Dissertation
Fakultät / Institut:
Fakultät für Ingenieurwissenschaften » Elektrotechnik und Informationstechnik
Dewey Dezimal-Klassifikation:
600 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften » 620 Ingenieurwissenschaften
Stichwörter:
Streulichtmeßtechnik, Partikeldetektion
Beitragende:
Prof. Dr.-Ing. Fissan, Heinz [Betreuer(in), Doktorvater]
Prof. Dr.-Ing. Beyer, Adalbert [Gutachter(in), Rezensent(in)]
Sprache:
Deutsch
Kollektion / Status:
Dissertationen / Dokument veröffentlicht
Datum der Promotion:
07.10.1997
Dokument erstellt am:
07.10.1997
Dateien geändert am:
05.04.2007
Medientyp:
Text