Temperature and density measurements at an inductively RF excited hydrogen plasma discharge

Dateibereich 12490

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Zusammenfassung s. S. 121
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Dokumententyp:
Wissenschaftliche Abschlussarbeiten » Dissertation
Fakultät / Institut:
Fakultät für Physik
Dewey Dezimal-Klassifikation:
500 Naturwissenschaften und Mathematik » 530 Physik
Stichwörter:
rotational temperature, degree of dissociation, ICP, RF discharges, capacitive and inductive modes
Sprache:
Englisch
Kollektion / Status:
Dissertationen / Dokument veröffentlicht
Datum der Promotion:
12.10.2004
Dokument erstellt am:
12.10.2004
Promotionsantrag am:
14.10.2004
Dateien geändert am:
12.10.2004
Medientyp:
Text