Bei der Wechselwirkung ultrakurzer Laserimpulse mit Festkörperoberflächen werden Intensitäten im Bereich von 10^18 W/cm2 erreicht. Die dabei wirkenden elektromagnetischen Felder des Laserlichtes führen zu einer stark anharmonischen Bewegung der Elektronen an der Festkörperoberfläche. Ein Resultat dieser anharmonischen Bewegung ist die Emission höherer Harmonischer der Laserstrahlung. Es konnte erstmals Linienstrahlung bis in den Bereich von 20 nm nachgewiesen werden. Bei der Erzeugung von Harmonischen ist die Impulsdauer sowie der Impulskontrast von ntscheidender Bedeutung. Die vorgestellten Resultate wurden bei einem Impulskontrast von 10^-6 (innerhalb einer ps) und einer Impulsdauer von 35 fs mit einer Ti:Saph Laseranlage ( l = 800 nm) erziehlt. Die Detektion der Strahlung erfolgte mit einem "Flatfield" Gitter in Verbindung mit einer " back illuminated" CCD-Kamera.